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用平晶测量平面度误差时应如何评定？

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用平晶测量平面度误差时应如何评定？

收起 中国机械网 4年前 (2020-12-27) 0

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应用光学平晶测量小平面。测量时将平晶贴于被测表面上，若被测表面内叫或外凸，就会出现环形干涉带，根据环形干涉带数与光波的半波长的乘积来表示平面度误差。
如果干涉条纹不封闭，可使光学平晶与被测表面间略微倾斜一个角度，使两者之间形成一空气楔。这种按干涉带的弯曲度与相邻两干涉带之间的比值，再乘以半波长即得误差值。不过，按此法评定的误差实际上是以直线度误差代替了平面度误差。
过去用平晶只能测小平面。近年来有了平晶干涉仪，应用这种仪器也可以利用平晶千涉法来测量较大的平面。
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